德國Sentech Instruments GmbH 公司的所有產品,該公司位于德國*都柏林,是一家從事薄膜測量儀器和等離子體設備研發、生產的高科技公司。SENTECH公司生產的各種等離子體刻蝕、沉積設備具有高刻蝕率、低損傷、低溫、高均勻度、沉積速度快等特點,廣泛地用于半導體、微系統、有機薄膜等領域。
SENTECH公司致力于發展薄膜測量技術(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)和等離子加工技術(等離子刻蝕、沉積系統,定制解決方案),**研發、制造、銷售相關儀器和設備。
激光橢偏儀SE 400advanced
多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)
• 超高精度和穩定性,來源于高穩定激光光源、溫度穩定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器
• 高精度樣品校準,使用光學自動對準鏡和顯微鏡
• 快速簡易測量,可選擇不同的應用模型和入射角度
• 多角度測量,可完全支持復雜應用和*準厚度
• 全方面的預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域
規格:
• 激光波長632.8 nm
• 150 mm (z-tilt) 載物臺
• 入射角度可調,步進5º
• 自動對準鏡/顯微鏡,用于樣品校準
• Small footprint
• 以太網接口連接到PC
SE 400advanced軟件特征:
• 預先定義應用
• 多角度測量
• 廣泛的材料數據庫
• 擬合狀況的圖形反饋
• 支持多種語言
代表型號:SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....
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